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产品名称:

七星华创质量流量控制器

产品型号: CS300
产品时间: 2021-08-04
描述:七星华创质量流量控制器
CS300型质量流量控制器信息由北京七星华创电子股份有限公司为您提供,如您想了解更多关于CS300型质量流量控制器报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
注:对于医疗器械类产品,请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况

产品介绍

七星华创质量流量控制器

CS300型质量流量控制器信息由北京七星华创电子股份有限公司为您提供,如您想了解更多关于CS300型质量流量控制器报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

注:对于医疗器械类产品,请先查证核实企业经营资质和医疗器械产品注册证情况

七星华创质量流量控制器


产品简介

CS300系列产品特点: 
1. 与气体接触的零件表面经过电化学抛光处理,粗糙度达到Ra 5μinch。
2. 与气体接触的零件表面化学成分:Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)。
3. 具有压力补偿功能。
4. 支持1.125,1.5英寸W,C,B型IGS气路系统

类号

CS310C

CS320C

阀类型

Normally Closed or Normally Open

No Valve

Normally Closed or Normally Open

No Valve

流量规格(N2)

(01,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM

(01,2,3,5,10,20,30)                  SLM

准确度

±1% S.P. (35% F.S.)

±0.35% F.S. (35% F.S.)

±0.80% S.P. (30% F.S.)

±0.24% F.S. (30% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

 0.8sec             0.5sec  optional

工作压差范围

(0.050.35)Mpa(10SLM)

(0.10.35)MPa (10SLM)

0.02 MPa

(0.050.35)Mpa(10SLM)

(0.10.35)MPa (10SLM)

0.02 MPa

温度系数

Zero: ≤±0.02% F.S./℃ Span: ≤±0.05% F.S./℃

耐压

3.5MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

Metal

工作环境温度

050

输入信号

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

No

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

No

输出信号

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:(05)VDC

零漂

0.6%F.S. per year without autozero

电源

±11±16 VDC (双极 +11+28 VDC (单极)

表面化学成分

Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms

表面粗糙度

Ra  5μinch

标准接头形式

VCR1/4阳接头;

1.125C型密封接头

1.125W型密封接头

1.5B型密封接头

1.5C型密封接头

1.5W型密封接头

电源接头形式

D sub 9 pins maleD sub 15 pins maleDeviceNet male

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

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